近日，由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)知名媒體與產(chǎn)業(yè)研究機構(gòu)“行家說三代半”主辦的2023行家極光獎頒獎典禮上，凌云光新品“第三代半導(dǎo)體化合物外延量測機臺”榮獲“第三代半導(dǎo)體年度優(yōu)秀產(chǎn)品獎”。

#第三代半導(dǎo)體年度優(yōu)秀產(chǎn)品獎#

該獎項聚焦國內(nèi)SiC&GaN企業(yè)的多項研發(fā)成果，涉及產(chǎn)業(yè)鏈上下游各個領(lǐng)域，是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)。此外，它們代表了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的統(tǒng)籌布局和規(guī)劃發(fā)展，是由點到線、由線到面、由面到體的有力見證。

凌云光以二十多年在機器視覺領(lǐng)域的經(jīng)驗為基礎(chǔ)，聚焦半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用，圍繞視覺+AI主題，新推出的第三代半導(dǎo)體化合物外延量測機臺，異常反饋周期從3天縮短到2小時，已在國內(nèi)一線第三代半導(dǎo)體企業(yè)客戶現(xiàn)場驗證。

第三代半導(dǎo)體化合物外延量測機臺

凌云光第三代半導(dǎo)體化合物外延量測機臺，專為化合物半導(dǎo)體MOCVD后外延層晶胞形貌和尺寸的自動量測而設(shè)計。該機臺不僅能夠高效地進(jìn)行形貌和尺寸測量，還具備統(tǒng)計各種形態(tài)、尺寸晶胞分布狀況的能力，實現(xiàn)了對生產(chǎn)過程工藝參數(shù)的及時反饋，極大地提升了生產(chǎn)效率。自動聚焦系統(tǒng)和精密運動控制平臺，配合高倍率顯微成像系統(tǒng)，確保對晶胞形態(tài)的精確、穩(wěn)定、快速成像。這一技術(shù)組合不僅使機臺能夠應(yīng)對襯底翹曲和外延層形貌異常的挑戰(zhàn)，而且保證了成像系統(tǒng)的高效穩(wěn)定運行。

通過第三代半導(dǎo)體化合物外延量測機臺，生產(chǎn)廠商可以實現(xiàn)對過程控制參數(shù)的及時調(diào)整，將異常反饋周期從傳統(tǒng)的3天縮短到2小時。除了的外延量測之外，凌云光還提供襯底檢測、先進(jìn)封裝量測等多種缺陷檢測解決方案，歡迎撥打400 829 1996（18511111281）問詢!

#2023碳化硅（SiC）產(chǎn)業(yè)調(diào)研白皮書#

同期舉行的SiC技術(shù)創(chuàng)新大會上，《2023碳化硅（SiC）產(chǎn)業(yè)調(diào)研白皮書》正式發(fā)布，凌云光作為參編單位派代表上臺參加了授證儀式。

目前，碳化硅正處于爆發(fā)期，是支撐新能源汽車、光伏、儲能、充電樁和軌道交通等領(lǐng)域綠色轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵核心器件。為全面了解全球碳化硅功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的狀況、關(guān)鍵技術(shù)的最新進(jìn)展，凌云光參與編寫了《2023碳化硅（SiC）產(chǎn)業(yè)調(diào)研白皮書》，希望通過這個載體將有價值的信息傳遞到業(yè)內(nèi)，為產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量！